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与此相比较,(1)的方法,是要旋转一定重量的检测器,加
给旋转装置的载荷,与被测物体无关,几乎是一定的。为此,适
合于被测物体为大型的比较重的测定。但为了把旋转装置安装在
支承柱上,旋转中的振动容易影响测量精度,而且
测量显微镜本身也
够庞大了。
其次,如前所述,被测物体与旋转轴心,要安装得不偏心,
因此必须消除进入检测信号中的偏心成分,这样的装置是必
要的。
另外,为了把检测出的偏差转换为电量,作为电信号而输出
的检测器,从这个电信号中只提取适当的频率成分以表示正圆度
值的装置,以及必要的倍率记录与基准圆的偏差的极坐标记录计
都是需要的。
构成正圆度测量显微镜的主要装置如上所述。其
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