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本文标题："测量显微镜的整个仪器的设计制造和定制厂商"
新闻来源：未知 发布时间：2014-8-16 7:51:35 本站主页地址：http://www.jiance17.com
测量显微镜的整个仪器的设计制造和定制厂商
因为是测量微小的位移，所以基准部分的直线运动精度要
在0.01微米以内。对于这样的机构和结构，特别要讨论下述几
点。
(a)导向机构的导向装置像本仪器这样高精度测量显微镜的情
况，过去予以忽略的导向而的摩擦，如前所述会成为振动源而影
响测定值，作为尽量减少摩擦影响的机构，
因此，基准部分的运动，是X一Y平面上的圆弧运动。但是，
测量距离最好是20微米左右。所以，如果从导向装置的旋转中
心到测量点为止的距离(旋转半径)大些，就可以看作是近似直
线运动。
(b)在检测部分采用了使用弹簧的触针夹持机构，这种.机
构容易受到外部振动的影响，所以检测部分安装在固定支柱上，
在运动部分安装被测物体的夹持装置，采用了对检测部分移动被
测物体的方法。
(c)送进装置在测量显微镜的整个仪器中，是这种装置的最
大的振动源。因此，把振动的产生抑制在最低限度的同时，重要
的是要尽量使产生的振动不要传给基准部分，检测部分而进行这
样的设计。为此，特别是从驱动部分向运动部分的基准移动台传
榆动力的连结部分的机构设计会成为问题，
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