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本文标题："高倍率精细物镜放大倍数较高、焦距较短"
新闻来源：未知 发布时间：2014-8-10 0:35:53 本站主页地址：http://www.jiance17.com
高倍率精细物镜放大倍数较高、焦距较短
当象的质量受到损害时，偶尔的原因可能是物镜受损伤.有
些仪器备有用弹簧缓冲的物镜以减少物镜损伤的可能性.但是，
防止这种不幸事故的最好办法是细心地进行聚焦，尤其对放大倍
数较高、焦距较短(而且比较昂贵)的物镜更要谨慎.定期地用低
倍放大镜检查物镜的外露表面是否有污染和损伤等情况是个良好
的习惯，同一台显微镜的目镜可以令人十分满意地用于此目的.
表面上高度变化的衬度能够通过暗场而获得显著的改善.
表示了集成电路板的表面在普通亮场和暗场下观察时的情
况.相衬对于表面变化引起的衬度也很有用，好比只用衍射光观
察物体的显微镜一样，这可以通过下述办法实现:在进来的光束中，
放置环形光阑并拦阻经反射后通过物镜而返回的直接光环的通
道(与相衬系统相类似，只不过用不透明材料代替了移相器).衍射
光束只轻微地衰减，而它所产生的衬度则比它和直接光束混合时
所产生的衬度要大得多.获得最大的高度变化衬度的最好方法也
许就是采用多光束干涉仪或偏振光干涉仪(如Nomarski干涉仪).
不论哪一种情况，达到几分之一波长的灵敏度都是完全可能的.偏
振光仪器把高度变化显现为颜色的差异并直接显示表面，而多光
束仪器当条纹穿过台阶时便发生移动。鉴于这些区别，偏振光干
涉仪往往给出更易于解释的象而多光束仪器则可更好地用于定量
测定台阶高度.
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