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波谱分析仪简介和应用-光学仪器常识和结构
波谱分析仪
波谱分析仪是在电子探针内用人射电子束轰击试样被激发出的特征X射线,不是用能
量而是用检测特征X射线的波长,即利用衍射品体对X射线进行波长分散,然后来识别元
素,再根据脉冲计数检测其强度以标定元素的浓度。获得的波谱曲线其横坐标即为波长分
布谱线,方向(元索的排列次序)正好与EDS图相反,
横坐标是不同元索X射线光子能量(keV)排序,下方横坐标是X射线波长(0. 1 nm)反向排序,
所对应的元素是相同的,纵坐标是元素X射线光子能量的发射强度,则表示元素的量(浓度)。
失效分析工作的目标主要是搞清失效的原因。其中心任务是环绕弄清失效的模式、失效的
机理,寻求弄清导致失效的诸多因素、各种因素的主次关系,提出防止失效主要对策。失效分析
工作涉及许多学科和专业,由单一专业的人员很难全面和综合地完成,特别是高难度复杂的大
型失效分析工作。失效分析技术是有多学科相互渗透的特点,
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