---
---
---(点击查看产品报价)
本文标题："高精度表面的轮廓数据测量工具显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2014-7-18 22:44:30 本站主页地址：http://www.jiance17.com
高精度表面的轮廓数据测量工具显微镜
通常.这些测量仪有较
大的测量范围.对于某些表面形状，精度是足够的.而对较小的光学表面，可以
使用一台高梢度x-y扫描仪。如果使该仪器安装上能够满足待测表面对高度和分
辨率要求的光学探头，就能高质量地测量光学表面。作为非接触探头类仪器.必
须介绍彩色探头和所谓的锥光探头
采用这种基本思路，特别是测量强弯曲表面和非球面时，光学表面计量的一
种趋势，或者进一步说，是以三坐标测量仪为基础，并使其适应光学计量的具体
要求.
一般地，以三坐标测量仪为基础能够保证探头相对于待测表面精确的
全方位定位，探头本身传送高精度表面的轮廓数据，一般是高度数据。
在这种方式中，最佳应用包括位移测量干涉仪(DMI)完成的全方位定位测量
以及探头外高分辨率局部数据。下面讨论应用该原理的具体例子。
所有资料用于交流学习之用，如有版权问题请联系，禁止复制,转载注明地址
上海光学仪器一厂-专业显微镜制造商 提供最合理的显微镜价格
合作站点：http://www.sgaaa.com/显微镜百科