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本文标题："瑕疵的表面检测显微镜三维计量方法的优点"
新闻来源：未知 发布时间：2014-7-18 22:44:15 本站主页地址：http://www.jiance17.com
瑕疵的表面检测显微镜三维计量方法的优点
波前计量方法是分析一束与待测样品相互作用后的波前。一般地，波前计量
方法使用矩阵传感器，因而能够快速收集三维信息。波前计量方法的优点是:
不仅可以应用于表面测量，而且也能测量整个元件的特性，对于后者，可以测量
透明光学元件。有时.开创了一种纯表面测量可能相当难以实现的功能性测量方法。
在某些情况下，两个表面对波前的组合效应要比其中一个的单独作用弱或简
单些，这不仅是测量组件波前的能量，而且也是一个位得注意之处.当测量两个
以上表面的组合作用时，找出潜在缺陷的根本原因并不容易，利用其他检验方法
或者制模工的经验有助于查明具有最大瑕疵的表面。为了对生产进行质量控制，
透射干涉术和波前传感法是非常有用的技术，利用这些方法可以测量一个零件的
光学功能，所以，很容易地应用合格/不合格判断准则。此外，只需完成一次而
不是两次表面测量。下面讨论干涉术和其他波前传感技术。未明确表明区别时，
则这些计量技术可以应用于表面和透射波前两种测量。
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