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扫描电子显微镜(SEM) (亦即聚焦的电子束扫过样品表面。而不是透射通过
样品)的原理于1935年首先由克劳尔提出。在随后的3年内.V.安德烈采纳了
用基于时间一位置的电流产生和检侧来建立图像的概念,并建成了第一台扫
描电子显微镜。首台仪器利用了两个磁透镜来提供样品表面上的小电子斑点
。
然而.第一台扫描电子显微镜是利用样品吸收的电流来产生图像。直到7年后
的1942年,RCA公司的施弗里金(Zworykin )席勒尔(Hiller)和斯里德(Sny-d
er)才使用了搜集表面发射出的电子的检侧器。这个被搜集的电子信号用来
建立与时间一位置相关的信号。这一技术是所有现代扫描电子显微镜工作的
基础
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