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本文标题:"透射电子显微镜依据其不同特点分为几种不同类型"

新闻来源:未知 发布时间:2014-6-1 14:23:57 本站主页地址:http://www.jiance17.com

透射电子显微镜依据其不同特点分为几种不同类型

    透射电子显微镜依据其不同特点分为几种不同类型,如高分
辨率电子显微镜(HRTEM) ,其特点是利用相位衬度可实现在原子
间距尺度上晶体材料的结构分析; 又如扫描透射显微镜(STEM),
它利用透射电子或散射电子成像,其空间分辨率比传统的透射电
子显微镜高100 倍。

    如果采集高角度散射电子,可以得到原子面的高分辨像甚至
单个重原子像; 再如分析电子显微镜(ATM) ,它是一种集透射电
子显微镜、扫描电子显微镜和电子探针显微分析仪三种仪器的功
能为一体的综合分析仪器,它采用透射电子显微镜同样的薄试样
和高电子加速电压,具有透射电子显微镜的全部功能,可对薄晶
体进行衍衬和选区衍射分析; 它安装了电子束扫描系统,

    借助偏转线圈可使人射束在试样表面作大面积扫描,并装备
了各种信号( 二次电子、背反射电子和X 射线) 探测器可在阴极
射线管荧光屏上获得二次电子像、背反射电子像和X 射线元素分
布图,具有扫描电子显徽镜的功能; 采用强磁透镜使电子束会聚
成极小探针( 约0.1 μm),可对试样上几纳米的区域进行电子衍
射或X 射线能谱或电子能量损失谱分析,即可进行空间分辨率极
高的成分、结构分析。也就是说可以在一次实验中同时获得同一
区域的高放大倍率的形貌像、晶体学参数和化学成分等数据。

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