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本文标题："电子显微镜适合研究微电子学观察各种样品表面起伏"
新闻来源：未知 发布时间：2014-4-22 13:04:02 本站主页地址：http://www.jiance17.com
电子显微镜适合研究微电子学观察各种样品表面起伏
干涉反差在千涉反差光学系统( 洛马斯基系统) 中采用分像器和偏振光，被
观察物的像分裂为两半，每半各被相反极化
极化像对应部分间光路长度之差产生一定的椭圆偏振光，并在被观察样品放
大像上呈现一定的色彩，此色彩随这个差别的大小而发生变化。
这种技术对微电子学领域来说在观察各种样品表面起伏图形是极其灵敏的方
法。干涉反差在决定表面是否存在凸起或凹陷，以及用其它光照方法无法观察出
来的表面起伏图形的细节都很有用。
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