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本文标题："检测型显微镜在电路芯片制造的应用-检测显微镜价格"
新闻来源：未知 发布时间：2014-4-18 19:53:41 本站主页地址：http://www.jiance17.com
显微镜在电路芯片制造的应用
在解剖集成电路器件以进行工艺研究或描绘测从芯片版图时，解剖
人员首先希望获得一幅清晰的芯片表面放大照片，特别是对一些集成度
较高，工艺结构较复杂的集成电路芯片，
不仅要求照片有足够大的放大倍率（一般为400 倍），更冤要的是，
从照片上能够清楚辩认制造芯片的各次光刻区间。
可以应用新的的集成电路芯片显微照相技术，在电路芯片拍照之前，
首先在芯片表面真空蒸发一层Al膜，就可大大改善拍照的效果。
用这种办法很容易得到图象清晰、黑白分明的照片，而且不受芯氧
化层颜色的影响。照相底片经放大10倍后晒出的照片，图案仍象在描图
纸上描绘出来的图案一样清晰，甚至在芯片预处理之前在显微镜下不易
认准的轮廓线条，在照片上也能清晰地显露出来。
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