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一般认为
显微镜的分辨率粗略地等于它所使用的光的波长
一般认为显微镜的分辨率粗略地等于它所使用的光的波长。由于典
型的电子束波长小于1A,因此电子显微镜具有极大的放大倍数。
电子显微镜与光学显微镜的原理对比,图中表明透镜聚焦的光线和
用磁线圈聚焦的电子束间的相似性。热丝阴极产生的电子由50000 至200000
伏左右的电压加速通过阳极后,经过准直,即达到样品并被样品散射、
透射、吸收或衍射。有些的电子显微镜观察,样品不是材料本身,而是
其它材料的薄膜。虽然高分辨率电子显微镜有2A的分辨率,但一般电子
显做镜,其分辨率只有5~30A.
扫描电镜可以直接观察样品表面,它以电子探针的方式进行电子束
扫描。由于既存在背散射电子又存在次级发射电子,因此能形成深聚焦
的像。这使它可以特别清楚地揭示材料断裂过程中所产生的不规则表面。
扫描电镜对直接观察热腐蚀或其他通过高温处理的样品时,在放大倍数
方面具有很大的灵活性。如果在样品表面产生电势差的话,扫描电镜能
记录这些差异,因此扫描电镜能用在半导体研究方面,来揭示通常不易
发觉的p 一n 结特征。
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