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显微镜所能得到的分辨力受得所采用的光的波长的限制,实际上,
光学显微术的放大率被限制在1000x 左右。如果采用以埃度量波长的
电子束,则分辨力能够改进到几十个埃(采用特别的方法还可更小),
容易达到50000 X 的放大率。正如使用光学显微术一样,薄切片也可
用透射电子来观察。
用这种方法时,样品厚度需要小于10000 埃(1 微米)左右,最
好是小于1000埃(0.1 微米)。这样薄的样品通常不能用研磨的方法
制备,而需要进一步用化学方法或用氩离子轰击方法制成薄膜。为了
概括的研究,经常可以将样品破碎,然后把所得到的颗粒的薄边缘用
于透射电子显微术。电子显微术的最大优点之一是:所选范围的电子
衍射花样可用来辨认和描述相的特征,完全象从显微组织中着见的相
一样。
扫描电子显微术是用电子束扫描样品表面,而产生适宜于观察的
二次电子的发射。可能有20 X -50000 X 的广阔范围的放大率,并且
不要求样品有平滑的表面。为了防止陶瓷绝缘体表面的静电充电,要
从钨丝向陶瓷绝缘体试样表面蒸镀一薄层金膜。
扫描电子显微术尤其适用于观察表面形貌和断裂表面,并且也广
泛用于一般显微组织的观察。这种方法的特别有利之处是:通过对试
样上一个点的发射电子能谱的分析,就可以定出该点的近似化学组成。
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