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本文标题："偏振光检测仪器有哪些优点-测量精度高显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2014-3-29 21:19:28 本站主页地址：http://www.jiance17.com
偏振光检测仪器有哪些优点-测量精度高显微镜
椭圆偏振法是一种用于研究两介质间界面、表面或薄膜中光学性
质变化的技术。椭圆偏振法的原理是用偏振光束在分界面上的反射和
透射出现的偏振变换。
这种方法具有检测过程非破坏性以及测量精度高等优点。椭圆偏
振法的应用涉及到物理、化学、材料学、生物学、光学、电子学等非
常广泛的领域。在半导体材料的测试技术中，椭圆偏振法可以用来测
量薄膜厚度、折射率等参数。
众所周知，一束单色光经过样片表面反射后，其光振动的振幅和
位相都会发生相应的变化，变化的程度与样片薄膜的厚度、折射率及
样片衬底的折射率等因素有关。
因此，可能根据这一特性来测量薄膜的厚度以及折射率等参数。
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