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本文标题："显微轮廓仪的仪器结构-测量显微镜的常识"
新闻来源：未知 发布时间：2014-2-26 13:25:23 本站主页地址：http://www.jiance17.com
显微轮廓仪的仪器结构-测量显微镜的常识
显微干涉轮廓仪的基本缺点，是视场照度明显地比干涉显微镜低
得多，因为它不能用在两个方向都扩展的光源，而采用窄的发光狭缝。
除此以外，又因采用两面谈，使仪器的制造和调整变得复杂。因此，
显微干涉轮廓仪不能够取代干涉显微镜，检查有规则痕迹的表面，采
用干涉显微镜还比较合适。
林尼克I 型显微干涉轮廓仪做成像生物显微镜上紧凑的附件。但
它未能得到推厂应用，因为物镜的孔径和放大倍数都不够大，不能正
确评定被检表面加工哀迹的深度。另外，仪器结构不能保证干涉图样
有足够的稳定度。
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