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微观检测是宏观腐蚀的进一步检查。微观测试方法主要有扫描电镜测试
、金相分析、光谱分析、中子活化分析、电子探针显微分析、X射线衍射分析、
红外吸收谱分析、穆斯堡尔谱分析、热分析、同位素质谱分析等
单色、单向、均匀而高速的微电子束与薄试样相互作用时.
电子束中部分电子激发出与试样相关的二次电子、背散射电子、
特征X射线和俄歇电子等信息,经多级放大成像,它具有原子尺度的分辨能力,
同时提供物理分析和化学分析。
散射电子束和透射电子束会形成衬度完全相反的像(暗场像和明场像),
特别是选区电子衍射技术的应用,使得分析微区形貌与微区晶体结构结合起来
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