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本文标题："金属材料实验测试刮痕检测用专业光学显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2013-10-4 14:10:12 本站主页地址：http://www.jiance17.com
金属材料实验测试刮痕检测用专业光学显微镜
TiO2 镀膜的附着性
分别为不同沉积时间及不同氧气分压所得
TiO2 镀膜试样之刮痕试验图谱及光学显微镜下刮痕轨迹。
声波讯号剧烈发生的刮痕距离与光学显微照片中基材开始裸露的刮痕位置是一致的，
因此判定于图中的镀膜破损起始点(Breaking point)是十分
可靠的结果。从该点对应到纵座标的 Normal force 即
为临界荷重值，可兹做为镀层附着力之指标。
这可用镀层的结晶化程度来说明；当沉积时间达 30
min 以上时，镀层发展成较完整的晶型及较高的镀层
机械强度来抵抗剪应力，并且基材随沉积时间增加持
续受热所造成的镀层 – 基材准扩散效应 (Psudo-
interdiffusion)也随之增加，是故镀膜临界荷重较高，
最大值 21.2 N。图五(b)不同氧气分压所得 TiO2 镀膜试
片之临界荷重值大小依序为：Lc 0.50 Pa≒Lc 0.35 Pa＞＞Lc
0.25 Pa≒Lc 0.15 Pa。很明显的，仍然是镀膜结晶性主导。
氧气分压增加到 0.50 Pa 时，镀膜发展成完整晶型，镀
膜临界荷重亦随之增加。是故透过本研究得知，利用
本套镀膜系统在氧气分压 0.50 Pa 时，只需 30 min 沉
积时间即可成功制备出附着性良好的锐钛矿 TiO2 镀膜
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