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本文标题："磨擦划痕与背隙孔隙率测量影像测量工具显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2013-9-25 22:01:02 本站主页地址：http://www.jiance17.com
磨擦划痕与背隙孔隙率测量影像测量工具显微镜
微奈米精密对位(Alignment)是平面显示器或相关精密产品制程中非常普遍
需要的基本动作功能，此精密对位的对位精准度与作动反应速度，对整部制
程设备的性能具关键性之影响。针对精密对位传统上大致皆应用一般伺服定
位系统，然一般伺服定位系统常因传动机构之库 伦静磨擦与背隙效应而让运
动分辨率及控制性能大为受限，压电驱动精密对位由于绝佳运动分辨率及高
刚性而被视为是一相当有效的解决之道。
然压电驱动精密对位仍有两大问题:
1.压电致动器具迟滞、潜变、饱和等非线性特性，
2.(2)对位之基准大多为被对位物件上之光学标 记，
3.有赖显微视觉加以量测回授。本研究之目的即在克服压电致动器之迟滞、
4.潜变、饱和等非线性问题，使其控制性能更佳，
5.并与显微视觉量测回授整合而成精密对位系统。
为此本研究建构提出一新创之压电驱动非线性模型，模型简洁、具物理意义、易设计其
反迟滞电路、 并具相当精确性
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