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利用双离子束溅镀系统制备镍铁/镍铁氧化物纳米交换偏压双层薄膜。
其中镍铁薄膜由Kaufman离子源直接溅镀镍铁靶材,而镍铁氧化物薄膜由End-Hall离子源之氧气
撞击基材并动态氧化镍铁原子而得。着重氧含量对镍铁/镍铁氧化物双层薄膜之微观结构、
电子结构及交换偶合效应之影响,并探讨镍铁/镍铁氧化物双层薄膜之室温及低温磁性质。
将组装离子束溅镀系统并找出可行的制程参数,初步来了解不同制程条件与磁性的关系;
研究了解研究不同热处理温度、离子束能量、电流对微结构与磁性之影响;
研究了解不同纳米尺寸镍铁/镍铁氧化物双层薄膜显微结构与交换偶合效应的关系及电子结构、
微结构与磁性的关系;针对界面特性之研究,
将执行原子级分辨率电子结构相关实验如原子级分辨率穿透电子能量损失
能谱仪与高解析穿透式电子显微镜
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