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烘干(Drying)
本研究相关制程中,在两次电极印刷后皆须要进行烘干的动作,
因太阳能芯片电极印刷所使用的浆料,是由金属微粒、玻璃粉、特殊
添加剂有机树脂与溶剂混合而成,所以有一定的流动性以利于网版印
刷,因此,为了避免印刷后图案被破坏,在芯片印刷后都会透过干燥
炉将芯片烘干,其目的是将有挥发性的添加剂及溶剂蒸发掉,让芯片
电极可凝固,无需担心图案未凝固而遭破坏。
烘干时间为五~十分钟,烘干完成后必须等芯片冷却才可进行测试,烘干时间不
得过长或太短。如果太短,则电极图案不易凝固容易遭破坏;时间太
长,也可能会造成芯片损毁,所以烘干时间必须谨慎注意。
为太阳能芯片原有的制作流程:芯片清洗 → 表面结构化→ 磷
扩散制程 → 抗反射层沉积 → 电极涂布 → 烘干 → 烧结 → 绝缘切
割 → 测试,其中电极涂布步骤仅执行ㄧ次,但因为考虑到转换效率的问
题,必须将电极线宽变细,但相对的截面积要相同才能使足够的电流通
过,因此研拟两次电极涂布之新的制程
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