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本文标题："表面轮廓仪可用来测量细微孔壁的粗糙度-工具显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2013-9-16 1:01:46 本站主页地址：http://www.jiance17.com
表面轮廓仪可用来测量细微孔壁的粗糙度-工具显微镜
高速气浮主轴以其低摩擦系数、运转时不易产生高温，及使用寿命长等特性，取代传
统滚珠轴承，被广泛应用于精密机械与电子产业领域如电路板钻孔之应用中。然而，面对高
精密度与高转速的加工需求，主轴系统的稳定度更显重要。故本研究以实验的方式，探讨气
浮主轴系统之轴颈轴承刚性及不稳定性，并深入了解其刚性变化对电路板钻削孔品质之影
响。首先，藉由改变轴颈轴承与心轴之间隙，及外部供气压力，探讨轴承间隙与供气压力对
刚性之影响。接着利用量测微钻头尖端之偏摆（Run-out），探讨不同轴承间隙、供气压力及
工作转速等，对钻头偏摆及系统不稳定性之影响。最后以不同的进给速度与工作转速，对电
路板进行实际钻孔，并利用表面轮廓仪测量孔壁之粗糙度，并分析相关钻削参数对孔壁粗糙
度之影响
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