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本文标题:"使用显微硬度量测电镀沉积铜的硬度-硬度测量仪器"

新闻来源:未知 发布时间:2013-5-20 0:47:17 本站主页地址:http://www.jiance17.com

主要针对电镀过程中添加剂对电镀铜影响之电化学及显微结构研究。
探讨电镀过程中添加硫脲对电镀沉积铜退火行为之影响,以及硫酸镀液内添加不同氯离子浓度,
其对于电解沉积铜之结晶行为。实验使用硫酸铜镀液中添加不同浓度硫脲,在高温高电流密度下进行电镀,

利用微硬度量测电镀沉积铜退火前后硬度的变化,并以DSC量测并记录沉积铜退火时吸、放热行为,
研究沉积铜抵抗退火软化的能力。结果显示镀液中含硫脲浓度高于3ppm时,沉积铜抵抗退火软化阻抗能力明显得到改善。

添加硫脲于电镀液中,可使沉积铜的晶粒尺寸细化,并且当增加硫脲含量高于3ppm时,沉积铜的双晶结构明显增加,
并且可发现许多含硫颗粒沿晶界共沉积,少数含硫颗粒存在于沉积晶粒内。这些含硫量高的颗粒阻碍晶界移动,
因此提高沉积铜退火的软化抵抗能力。上述沉积铜的显微结构以穿透式电子显微镜(TEM)观察,并以X-ray
能谱分析仪(EDS)来分析其化学组成。

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