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本文标题："元件表面的粗糙度会直接影响微光学元件的特点"
新闻来源：未知 发布时间：2013-4-27 0:12:11 本站主页地址：http://www.jiance17.com
微光学元件表面轮廓量测
元件表面的粗糙度会直接影响微光学元件之特性，如果表面粗糙太过严重会使其光学效率大大的降低，
因此经由準分子雷射拖拉式加工之后的工件，我们都必须进行表面轮廓的量测。而我们是采
用光学显微镜、干涉仪（Zygo）、薄膜测厚仪（α-stepper）及扫描式电子显微镜（SEM）分别对
元件表面进行表面外观形状、蚀刻深度等的量测，并且利用电脑计算出加工后工件之粗糙度，
目的在于对元件作初步的检验与评价制程的品质
平衡是因为它适用于一个以上的阶段，其中可能存在的系统。相平衡是现在一个系统的相位特性与时间的关系。
免费能源方面的考虑和图表类似提供了有关特定系统的，这是非常重要的平衡特性的讯息
但他们没有说明实现一个新的平衡状态所需的一段时间。这是经常发生的情况，尤其是在固体系统，
即一种平衡状态从来没有完全实现，因为绿平衡的方法是极其缓慢的，这样的系统被认为是在非平衡态或亚稳态。
亚稳态或微观结构可能会持续下去，随着时间的推移经历只有极其轻微，几乎难以察觉的变化。
通常情况下，亚稳结构超过均衡的现实意义。例如，一些钢和铝合金依靠亚稳态微观结构的发展实力，
在精心设计的热处理。
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