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本文标题："表明轮廓测量仪器常识-超细微探针显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2013-4-22 0:59:01 本站主页地址：http://www.jiance17.com
表明轮廓测量仪器常识-超细微探针显微镜
AFM电子显微镜，配合使用超细微探针，探针尖端尺寸可降低到10 nm以下等级，参考NIST之AFM量测线宽方法，
变更为双倾斜影像叠合量测法，先将试片顺时针倾斜，此时探针扫描由左往右，量测影像之左侧为探针实际量测试片线宽之实际轮廓影像，
再将试片逆时针倾斜时，探针扫描由右往左(量测影像，同样试片右侧轮廓为探针实际量测试片线宽右侧之几何形状，继之以影像叠合技术组合量测影像，叠合后，
取第一次扫描之左测影像与第二次扫描之右测影像；
在旋转试片时，以试片量测位置表面为旋转中心，所以旋转试片后，量测位置偏移很小(约为40 μm)，
能调整AFM扫描范围，所以二次量测都能在同一位置。
影像叠合组合技术，是利用ICP(Iterative closest point)数学式，此法可算得两张图像相对应之旋转与平移矩阵，
再撷取多张相近图像之迭代运算后可收敛出一张最接近之叠合影像。经影像叠合后之量测影像，需补偿修正探针之尖端半径后，
才能得到试片奈米结构线宽之实际形貌
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