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本文标题："AFM电子显微镜是可用来量测微,纳米级微结构"
新闻来源：未知 发布时间：2013-4-22 0:58:47 本站主页地址：http://www.jiance17.com
AFM电子显微镜是可用来量测微,纳米级微结构
AFM是可用来量测微、奈米级微结构，但是当CD尺寸小于100 nm时，AFM探针之尖端与外形也是在这个尺度，
量测时，因AFM探针外形与奈米结构会有几何外形干涉问题，无法确切量测出奈米结构形貌，造成量测尺寸的误判。
量测时，以探针分别量测物体两侧形貌尺寸，两侧形貌之间距，减去已知探针之轮廓，则可估算出真实试片之轮廓形状或线宽值，
本研究提出一种创新的半导体奈米结构量测方法，采用双倾斜之AFM扫描量测，将两次倾斜后之扫描影像，以影像叠合技术，
配合探针尖端尺寸修正，即可克服原本被干涉而无法量测区域转变为可量测到的区域，以正确地量测出半导体CD尺寸，
应用于线宽量测的估算量测不确定度为3.18 nm。
100 nm以下线宽量测方法
量测100 nm以下线宽时，使用CNT(奈米探管)-AFM单向扫描二次方法，以AFM量测试片后，
得到扫描图像，将试片旋转180度，同样再扫描一次后，以影像叠合技术将二次扫描结果组合，
便可得到待测件真实轮廓。此方法会碰到的问题为奈米工件非常细微，经旋转180度后，很难再找到同样位置进行量测，
会造影像叠合技术之组合误差。
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