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扫描电流显微镜迅速发展成为纳米检测的主要工具之一,利用扫描探针显微镜的基础并结合电流量测技术,
不仅提供了二维电性影像资讯,还能针对特定区域进行电流-电压曲线分析,因此对于业界应用与学界研究的重要性也相对增加。
虽然扫描电流显微镜拥有高讯号灵敏度与高空间解析度等优点,但也因量测极为灵敏容易受其他因素干扰而导致讯号失真,
所以探讨可能影响量测讯号的主要因素并加以有效控制,已成为使用扫描电流显微镜进行纳米检测时必须注意的重点之一。
扫描电流显微镜的基本架构、原理与应用实例,此外,对于影响量测讯号稳定性因素的相关研究也将在文中一併探讨,
期望能对产学界的研究与应用有所帮助。
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