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扫瞄式探针显微镜(SPM )-材料机械性质量测
荷重范围 :1nN~ 10mN。
荷重解析度(bit) : 1nN。
荷重杂讯 : 100nN。
压痕深度范围 : 1 nm ~ 50μm。
压痕深度解析度(bit) : 0.0002 nm。
压痕深度杂讯 : 0.2nm。
荷重速率解析度(bit) : 0.1 ~ 50000μN/sec。
Thermal drift杂讯 : < 0.05 nm/sec
本设备可提供材料机械性质量测,是研究奈米材料之机 械性质重要量测设备之一 ∎
适用样品:薄膜/薄片/块材
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