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电子显微镜 (electron microscope) 利用电子束照明﹐经电磁或静电透镜聚焦﹐
以得到物体高放大倍数显微像的设备。电子的加速电压一般为100~200千伏﹐
相应电子波长为0.037~0.025埃﹐约为可见光波长的十万分之一。
所以电子显微镜(以下简称电镜)的分辨本领比光学显微镜高得多。
第一台电镜制于1931年﹐其结构与普通光学显微镜相似﹐
为透射电镜。60年代末发展了扫 描电镜﹐
70年代从透射电镜发展出超高压电镜和高分辨电镜﹐并把透射和扫描电镜技术结合起来﹐
再加上微区成分分析技术﹐发展成分析电镜。
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