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本文标题："微光学元件之制作与测量-测量显微镜价格!"
在微直角锥反射镜方面，我们对反射镜所制做的路标其对比度会比
传统的涂漆式路标其对比度要好上 1.64﹪~4.12﹪，因此可以证明
出微光学反射直角稜镜的确优于传统式的路标。在微透镜方面，我
们完成微米（μm）级的微小光学元件的设计与制作，而微透镜阵列
光点收敛的聚焦点直径也略大于绕射极限。在其它微光学元件方面，
我们也制作出微光栅绕射元件以及各种微柱状镜，并且利用 Matlab
分析其各元件之粗糙度，包括以小波函数转换，目的只为了加强我
们微光学元件的实用性。未来将朝非球面镜制作，并研究如何设计
更准确地控制加工深度，及如何研磨微光学元件，使本系统朝向更
高解析度之制程迈进，以满足将来更高品质之光学微系统需求。
本文中介绍的新颖 LIGA-like 微加工技术，目前已整合在
激光光刻电铸及模造技术中，近年来准分子激光加工技术，由于其
相较于一般蚀刻技术拥有较精确和较高深宽比（aspect ratio）的
特性，且相较于电子束和 X-ray 光刻（lithography）技术在成本
效益的考量上便宜许多，已广泛地应用在许多微小结构加工成型与
微细装置光刻上。以准分子激光作为微光学阵列元件之制程技术，
既快速又准确，足以取代现行之标准半导体制程模式，而且更短波
长（193nm）之准分子激光加工系统，目前也纯熟地不断被开发出来，
未来更具弹性之微光学设计制作环境逐渐地实现。
此外，未来在 DVD 读写头（picked up head）、激光二极体阵列
（diode laser arrays）、侦测器阵列（detector arrays）、光计算
（optical computing）、光连接（optical interconnection）与光
通讯（optical communication）等等应用或结合平面光学
（planar-optics）与固态激光在微光电系统上将有更弹性之设计空
间与应用领域等待开发，尤其在消费性光电子产品中的CGH（computer
generated holograms）或 DOE（diffractive optical elements）
更迫切地需要以塑胶射出、压克力压膜、树脂翻制等大量制造微光
学元件与系统组件时，准份子激光微加工制程方式提供了迅速、弹
性与廉价等优势。