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本文标题："三坐标测量工具显微镜能够建立三维测量影像"
新闻来源：未知 发布时间：2013-1-20 1:09:15 本站主页地址：http://www.jiance17.com
常用雷射搭配一位置灵敏光强侦测器之侦测方式(beam-bounce technique)。
利用原子力显微镜量测共聚物的电区之架设示意图（b）铁电共聚物之铁电区影像
由 A.Gruverman 等人首先在 PbZrTiO3 (PZT)铁电薄膜施加一直流电压使其极化反转后观察其铁电区影像，
同年使用压电力显微镜（piezoresponse force microscope）的量测来比较 PZT 薄膜分别成长在 Ru 和 Pt
上铁电区结构的差异[4]。之后于 1998 年研究 PZT 铁电薄膜在〝奈米尺度〞下的
铁电区及电区反转（domain switching）行为在这先前的压电力显微镜量测只有极化方向垂直于薄膜的分量
可被量测，称之为 vertical PFM；同年(1998 年)发展出可量测极化方向平行于薄膜表面的 lateral
PFM，又 2006 年 S. V. Kalinin 及 B. J. Rodriguez 量测 PbTiO3 铁电薄膜同一铁
电区的 vertical PFM 及 lateral PFM，建立了二维铁电区影像，并利用探针偏斜机制来建立三维铁电区影像，称为 vector PFM。
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