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含蓝宝石单晶晶体退火后强度与表面形态研究及以析出硬化方式达到强度增强的效果。
针对 c 平面蓝宝石单晶的等双轴强度性质,运用两种不同的温度和持温的时间控制实施退火,
然后再用自组装的超合金环对环等双轴高温测试模具组量测蓝宝石晶体的室温及高温的等双轴强度。
以原子力
显微镜观察蓝宝石单晶晶体的表面形貌及观察破裂后蓝宝石单晶圆片的形态来瞭解强度和退火的温度及时间的关系。
结果显示,热处理的方法会影响到晶体表面或次表面的微结构,藉由微裂缝的消除或是氧原子空孔的改变或邻位刻面的多样性的不同而有不同的强度值,
因此,表面阶梯结构密度和强度有关。最后,以热蒸镀镀制镁膜的方式在蓝宝石单晶晶体表面上成薄膜后,
再以碳热制程的方法使其在蓝宝石单晶晶体上自发形成氧化镁及镁铝尖晶石析出的混合层,
评估在蓝宝石单晶内部形成镁铝尖晶石来强化蓝宝石单晶晶体室温及 600oC 的强度
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