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半透明物体的表面不能用斑点照像术来量测其倾斜度,因为半透明物体表面内部亦会反射部份的激光光,而影响了原本的斑点图。
若物体表面应变过大而改变了表面的微细结构时,此法亦将不适用。当物体表面位移量过大时,在双重曝光下,
底片所记录的斑点图只剩下一部份有关连性,则其干涉条纹的对比就相对降低,且会被其它斑点所散射过来的光干扰 ,更降低其对比
由以上这些结果做一个粗略的估计,斑点照像术可量测的范围大约是在1-200μm之间,若使用F/4的透镜,则其底限大约是斑点特征尺寸的五倍,
而上限则是穿透孔径的百分之十
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