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本文标题:"原子力学显微镜(AFM)和金相显微镜在薄膜特性量测实验的作用"
新闻来源:未知 发布时间:2012-6-13 1:43:26 本站主页地址:
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原子力学
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(AFM):
观察薄膜三维空间的表面型态,原子力学显微镜是一非破坏性的表面分析仪,利用图像分析可得薄膜之表面粗糙度及奈米结构的尺寸分佈。在本研究中是观察Ni崁入式ITO之表面型态以及表面粗超度,又观察Ni崁入式ITO试片之Ni与ITO部分。
金相显微镜
(OM):
金相显微镜之观察主要为经过黄光制程Lift-off制作的Ni嵌入式ITO的点状槽。
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