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. 景深大,图象立体感强,透射电镜大10倍,较光学显微镜的
景深大300倍,由此适合粗糙表面的观察,如矿物断口表面、晶面的生
长纹、阶梯等的观察和结构分析等。(3)试样台可动的自由度大,试样
可在三宴空间内作六个自由度移动,即三变空间的平移和旋转,用来
观察试样各个方向;的细节十分方便。
(4)在试样表面可得到多方面的资料,如无阴影照明性质的二次电
子象,又可获得有阴影照明性质的背散射电子象(即成份象),和强调
深坑部分的吸收电子象。
(5)对被测试样的损伤和污染社度小,特别适用于生物、医学,细
菌试样的观察,这是因为电子柬流小,束径小,束能小,以及电子束
在试样表面作光栅状扫描,而不是固定一点照射试样,由此对试样的
污染和损伤小。 ·
(6)在观察形貌的同时,又可进行试样微区成份的点,线,面扫描
定性和定量分析,查定元素的赋有状态等。分析体.积为数立!方微米
,相对灵敏度为0.05%左右。
(7)分辨率为50一?0埃,较透射电镜略低。
(8)附有x射线波谱仪或X射线能谱仪都可进行试样成·份的定性及
定量分析,但前者对试样表面要求严格(平整光滑,导电性好等),故
定量分析精度高,后者定性分析速度快,2—3分钟内便能将试样的成
份全SS元素分析出来
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