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本文标题："光学显微镜、电子扫描显微镜、 雷射扫描显微镜三者特色为何？"

光学显微镜、电子扫描显微镜、 雷射扫描显微镜三者特色为何？
A:  对于表面微小形状产品的观察，不外乎利用光学显微量测显微镜或是电子显微镜，如果利用光学式高倍量测显微镜，其优点为彩色影像、可以即时观察量测，但解析能力上则受制于可见光波长的限制，且3D影像上总是没有电子扫描显微镜影像来得立体及层次分明，针对数μ的3D量测无法得到优异的再现性。

如果利用电子扫描显微镜，也有其不便及限制之处，除了黑白影像外，在检查标本的製作上非常麻烦，除了要做微小薄片处理外，碰到无法导电的材料，还要做镀膜处理以及抽真空等繁琐处理，无法做到有效率及大范围的即时观察量测。而雷射扫描显微镜则利用波长408nm的雷射光扫描被测物表面，并且以0.01μ的段层扫描取样，再将影像予以重组以得到直逼电子显微镜的高解像力及对比，因此可同时兼具光学显微镜之即时彩色影像观察及电子扫描显微镜高解析精确量测之特色。