电子扫描显微镜独有的光学镜头设计,放大倍率20x~120x且具有样品导航功能,让操作者快速找到样品,电子显微镜放大倍率为80x ~ 45,000x, 解析度更高达25nm (gold particle),并採用低加速电压,超高感度之背散射电子侦测器,并可藉由软体选择 Z-contrast (观测物件之组成像)或Topography (物件之表面形貌),加上所配备的CeB6 source 因为具有高亮度及稳定的特性;因此具有同型机种所无法达到的高解析影像能力。
产品特色
* 体积小,防震佳,不受场地限制
* 速度快,送入样品到SEM成像仅需30秒
* 电子显微镜放大倍率80x~45,000x
* 解析度 25nm
* 全程自动化样品台操作更具备样品导航功能
* 独有的光学镜头设计,放大倍率20x~120x
* 自动对焦,自动调整亮度与明暗对比
* 长效型高亮度高解析的灯丝源,减低后续维修保养的时间
* 高感度的背散射侦测器(组成像和表面形貌两种模式)
* 特殊样品台设计,样品不需镀金直接观看
* 真空系统:薄膜帮浦, TMP (无油式真空系统)
* 操作简易,人员学习30分钟即可操作
* 主机重量50 Kg